面对电力电子市场需求的急剧增长,瑞萨电子(Renesas)正快速提升其氮化镓(GaN)功率半导体的产能。德国半导体设备供应商爱思强(Aixtron)宣布,已向瑞萨交付多台 Planetary G5+C 系列 MOCVD 系统,这些设备现已投入运行,用于大幅强化 GaN 芯片的制造能力。
此次部署的 Planetary G5+C 是爱思强专为 GaN 功率器件及射频器件量产而设计的金属有机物化学气相沉积平台,具备高吞吐量、优异的晶圆内与晶圆间均匀性,尤其适合在硅或碳化硅衬底上生长 GaN 外延层。瑞萨通过引入该平台,旨在加速从研发到量产的爬坡进程,满足数据中心电源、车载充电器、光伏逆变器及快充适配器等应用对高效、高频功率器件的激增需求。
虽然双方未披露具体扩产规模,但爱思强强调此次交付的“多台系统”将显著提升瑞萨的 GaN 产能,巩固其在宽禁带半导体领域的供应地位,并缩短面向工业和汽车客户的交付周期。