Wooptix在CEA-Leti安装了第一套Phemet®计量系统

Wooptix installe le premier système de métrologie Phemet® au CEA-Leti

CEA-Leti Original
摘要
西班牙计量公司Wooptix宣布在法国格勒诺布尔的CEA-Leti研发中心成功首次部署其Phemet®晶圆计量系统,双方将展开长期合作。该系统于2026年5月安装,提供亚纳米级精度的高速晶圆形状测量,面向先进封装与大规模制造的过程控制。此举将助力Wooptix借助欧洲顶尖半导体研发平台优化技术并探索新应用。

Wooptix宣布其Phemet®半导体计量系统已安装于法国格勒诺布尔的CEA-Leti(电子与信息技术实验室),这是该公司首个正式生产部署,也意味着其与全球领先的半导体研发生态之一建立了长期合作关系。该系统于2026年5月4日完成安装,并于6月23日至25日在格勒诺布尔举行的Leti Innovation Days/LID World Summit上被重点展示。

此次部署对Wooptix具有里程碑意义。作为一家专注于基于波前相位成像(phase imaging by wavefront)的半导体计量创新企业,Wooptix表示,Phemet®将用于支持双方在工业洁净室环境中的联合研究,重点包括晶圆尺度的工艺签名(process signature)、纳米地形(nanotopography)以及先进封装工艺相关计量。公司强调,这也是其Phemet®设备面向半导体行业的首次落地应用,未来可在CEA-Leti这一欧洲最先进的研发基础设施之一中,直接对最前沿工艺进行测试和优化,并探索新的应用场景。

Phemet®于2025年11月发布,主打对晶圆形貌与几何参数进行超高速、极高精度测量,分辨率低于纳米级。Wooptix认为,随着半导体器件持续向更高性能、更小尺寸和更复杂结构演进,行业对量产阶段更强大的工艺控制需求正在快速上升,而这套系统正是为满足这一趋势而设计。

Summary
Wooptix has deployed its Phemet® metrology system—a sub-nanometer-resolution wafer measurement tool—at CEA-Leti in Grenoble, marking its first production installation. This long-term collaboration will enable joint research on advanced semiconductor process control and packaging metrology within a leading European R&D ecosystem. The move strengthens Wooptix’s market position by validating its technology on state-of-the-art manufacturing processes and addressing the industry's demand for higher precision.

Wooptix has completed the first production deployment of its Phemet® wafer metrology system at CEA-Leti in Grenoble, installed on 4 May 2026. The milestone, announced during the Leti Innovation Days/LID World Summit (23–25 June), establishes a long-term collaboration with one of the world’s top semiconductor R&D ecosystems.

The Phemet® platform, launched in November 2025, uses wavefront phase imaging to deliver ultra-fast, sub-nanometer-resolution measurements of wafer shape and geometry. It targets the growing need for tighter process control in high-volume manufacturing as devices shrink to nanoscale dimensions and adopt more complex integration schemes.

Under the agreement, the tool will support joint work on wafer-scale process signatures, nanotopography, and metrology for advanced packaging in an industrial cleanroom environment. For Wooptix—a company with operations in Tenerife and Grenoble—the installation provides direct access to state-of-the-art processes at one of Europe’s most advanced R&D facilities, enabling it to test, optimise, and expand the use cases of its technology.

Résumé
Wooptix a installé son système de métrologie Phemet® au CEA-Leti à Grenoble, marquant son premier déploiement en production et une collaboration long terme avec un centre de R&D de premier plan. Ce système, lancé en novembre 2025, fournit des mesures ultrarapides de la topographie des wafers avec une précision sub-nanométrique, répondant aux exigences des procédés avancés et du packaging. Ce partenariat permet à Wooptix d’optimiser sa technologie sur des procédés de pointe et de renforcer sa présence sur le marché du contrôle des procédés semi-conducteurs.

Communiqué de presse|Actualité|Nouvelles technologies

Représente le premier déploiement en production de Wooptix et établit une collaboration à long terme avec l'un des principaux écosystèmes mondiaux de R&D en semi‑conducteurs.

GRENOBLE, France et TENERIFE, Espagne, 29 juin 2026 —Wooptix, acteur majeur de l'innovation en métrologie des semi-conducteurs fondée sur l'imagerie de phase par front d'onde, a annoncé aujourd'hui l'installation de son système Phemet® au CEA-Leti (Laboratoire d'électronique et de technologie de l'information) à Grenoble. Cette installation marque une étape clé dans le développement de l'entreprise et renforce sa présence dans le domaine de la métrologie et du contrôle des procédés pour l'industrie des semi-conducteurs. Installé le 4 mai 2026, le système soutiendra des travaux communs sur la signature des procédés technologiques à l'échelle du wafer, la nanotopographie et la métrologie associée aux procédés de packaging avancé dans l'environnement d'une salle blanche industrielle. Cet accord a été mis en avant lors desLeti Innovation Days/LID World Summit, l'événement annuel phare du CEA-Leti, qui s'est tenu du 23 au 25 juin à Grenoble.

Cette installation marque le premier déploiement du Phemet®, l'équipement de métrologie développé par Wooptix pour l'industrie des semi-conducteurs. Cette collaboration permettra à Wooptix de tester et d'optimiser sa technologie directement sur des procédés à l'état de l'art, tout en explorant de nouveaux cas d'usage au sein de l'une des infrastructures de R&D les plus avancées d'Europe.

Wooptix a lancé son système de métrologie Phemet® en novembre 2025. Il réalise des mesures ultrarapides et extrêmement précises de la forme et de la géométrie des wafers, avec une résolution inférieure au nanomètre. Phemet® répond au besoin croissant d'un contrôle plus performant des procédés de fabrication en production de masse, alors que l'industrie poursuit son évolution vers des dispositifs toujours plus performants, plus compacts et plus complexes, caractérisés par des dimensions nanométriques et de nouvelles approches d'intégration.​

AI Insight
Core Point

Wooptix 在 CEA-Leti 首次部署晶圆计量系统 Phemet®,验证其亚纳米级测量技术于先进半导体 R&D 环境,推动制造工艺控制升级。

Key Players
  • Wooptix — 半导体计量设备商,基于波前相位成像,总部西班牙特内里费,格勒诺布尔设有机构。
  • CEA-Leti — 法国电子与信息技术研究所,位于格勒诺布尔,欧洲顶级半导体 R&D 中心。
Industry Impact
  • ICT(半导体制造):高 — 亚纳米级晶圆形貌测量直接提升先进封装与工艺检测精度,支撑更高良率。
  • 计算/AI:中 — 有助于高性能芯片和异构集成的先进封装要求,间接赋能算力进步。
Tracking

重点追踪 — 首套工业级系统落地关键 R&D 机构,将测试优化技术并探索新用例,可能影响欧洲半导体计量供应链及 EUV 时代工艺控制布局。

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2026-06-30 16:05
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