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2026年显示周

DISPLAY WEEK 2026

法国研究机构CEA-Leti将于2026年5月在美国洛杉矶展示其高性能MicroLED技术,该技术旨在推动下一代显示器和数据中心光通信的发展。此外,CEA-Leti还将在同年6月于法国和台湾举办多场半导体行业峰会,重点介绍其在半导体可靠性、先进封装及AI硬件架构等领域的最新成果。

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用于微型、纳米和生物技术的等离子体刻蚀与剥离工艺

plasma etch and strip processes for micro-, nano- and bio-technologies

该文章报道了2026年6月8日至9日在法国格勒诺布尔MINATEC举办的干法刻蚀与等离子体加工研讨会,重点围绕半导体、MEMS及新兴应用的干刻蚀、等离子体工艺与相关挑战,并安排了多场主题报告与海报,包括GeTe等离子体刻蚀用于RF开关、基于SOI/SiN的先进光子平台、GeSe-GeTe与GeSe-GeTe薄膜的HBr/H+等离子体刻蚀、LiNbO3波导的反应离子刻蚀以及F等离子体用于腔体清洗的效

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